负压内循环真空烘箱 实时监控氧含量浓度����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������� 半导体行业专用真空箱

半导体专用新型真空烘箱，升温降温可控，实时����� �������Ƴ������������ �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ�������监测氧含量浓度，负压内微循环，自主研发����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������全套台达PLC控制系统

技术参数：

内胆尺寸:470*450*450 ����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������(宽*深*高) ����� �������Ƴ������������ �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ�������

温度范围:室温~200℃

温度波动度:0.2℃

升温速率:室温~150℃����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������/30min

降温速率:150C~60℃/3����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������0min

真空度:极限 100Kp����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������a~0.1KPa 绝压型

抽气速率:02KPa/5min

真空泄漏率:24h/0.7kpa

真空度释放:5~15min 手����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������动可调，破真空可切换氮气或空气

氧浓度:1000ppm 以下

电压:380V/50HZ

功率:5.5KW

氮气流量:10~100L/����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������min(手动流量计控制)

隔板:3 块(123mm 三层，每层隔板最大承����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������重 20KG)

产品特点：

  采用PLC 触摸屏，内加热快速升温����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������水冷却管道快速降温，数字压力传感器，旋����� �������Ƴ������������ �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ�������片油泵，氧含量浓度检测，三色灯，独����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������立接口氮气正压力监控器连接电磁阀释放气体。

  控制逻辑:触摸屏控 SSR 温度����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������接触器运行，抽气运行，放����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������气自动，温度与真空度分段循环设置，先真空����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������度达到与氧气浓度到达后保持再氮气破����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������真空后温度升温再保持

  立式结构，����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������腔体在上部，腔体内有循环风机加热����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������管，冷却管道风道板，仪表在中部，底部真空

  工作室材料����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������:内胆不锈钢拉丝板

  抽气波纹管����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������，不锈钢压差阀，氮气减压阀与流量计，小型抽����� �������Ƴ����������� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������气过滤罐，排气油雾过滤器

  USB 接头，启动电源开关，报警指����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������示灯

  数字独立限温保护，接地保护，漏电����� �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ������������ �������Ƴ�������保护，真空泵过热保护，循环电机过载保护